Il produttore coreano di semiconduttori e componenti LCD, Willbe S&T, ha deciso di passare al PEEK della Victrex per produrre gli anelli di supporto per CMP (Chemical Mechanical Planarization); questi componenti sono collocati nella testa di lucidatura e supportano i wafer nei porcessi di planarizzazione chimico-meccanica.
La soluzione individuata da Willbe S&T prevede l'inserimento di un unico anello per CMP stampato ad iniezione, invece di più anelli in SUS o PPS saldati tra loro, in modo tale da incrementare durata e prestazioni, riducendo i costi complessivi di produzione.
Il processo CMP richiede una gestione accurata dei parametri e impone tolleranze ristrette, elevata qualità superficiale e massima planarità. Requisiti sempre più severi in relazione alla continua miniaturizzazione dei componenti.
11 novembre 2010 09:30
Il tecnopolimero Victrex selezionato da Willbe S&T per il supporto di wafer.Il produttore coreano di semiconduttori e componenti LCD, Willbe S&T, ha deciso di passare al PEEK della Victrex per produrre gli anelli di supporto per CMP (Chemical Mechanical Planarization); questi componenti sono collocati nella testa di lucidatura e supportano i wafer nei porcessi di planarizzazione chimico-meccanica.
La soluzione individuata da Willbe S&T prevede l'inserimento di un unico anello per CMP stampato ad iniezione, invece di più anelli in SUS o PPS saldati tra loro, in modo tale da incrementare durata e prestazioni, riducendo i costi complessivi di produzione.
Il processo CMP richiede una gestione accurata dei parametri e impone tolleranze ristrette, elevata qualità superficiale e massima planarità. Requisiti sempre più severi in relazione alla continua miniaturizzazione dei componenti.
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